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信越化学积极投资光掩膜坯料事业
   为了扩大光掩膜坯料事业,信越化学工业株式会社将实施约140亿日元的设备投资。
 
  此次投资将分别在武生工厂(福井县越前市)和直江津工厂(新泻县上越市)的旧工厂实施 。武生工厂将新建厂房并强化高端ArF产品的生产设备 ,计划于2021年4月前竣工。另一方面 ,直江津工厂将强化作为事业核心的通用ArF产品的生产设备 ,计划在2019年年底前竣工 。此次投资将使信越化学光掩膜坯料的生产能力提升30%。随着半导体元件产量的增加和产品的不断小型化 ,无论是通用ArF产品还是高端ArF产品,光掩膜坯料的全球需求都在不断增长 。信越化学将切实把握这些需求 ,进一步扩大事业规模。
 
  【信越化学的光掩膜坯料事业】
 
  长久以来,信越化学一直致力于研究开发半导体制造工序中使用的材料,光掩膜坯料便是其中的一种,并于2009年将其商业化 ,在直江津工厂正式开始了生产。2016年 ,武生工厂也开始生产该产品,在切实履行向客户提供优质产品这一企业责任的同时,通过在两个生产据点进行生产力图达到分散事业风险的目的。在事业步入正轨后 ,信越化学开始推进高端产品的开发工作以满足客户需求。最终,我们成功地开发出了利用高精度微细加工技术生产的光掩膜坯料 。信越化学的这一高端光掩膜坯料被认定为全球标准产品。
 
  【光掩膜坯料】
 
  是半导体制造工序中使用的光掩膜的材料 。在硅晶片上绘制电路时 ,会使用光掩膜版作为电路的原版。


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